詳細

TSシリーズは多様で構成可能な薄膜測定システムです。このシリーズは、光学的又は非光学的薄膜の厚さを正確に決定する為の分光反射測定に基づいています。半導体、医療、工業用の様々な用途に適されています。TSシリーズのシステムは、反射防止コーティング、傷防止コーティング、及び鋼、アルミニウム、真ちゅう、銅、セラミック、プラスチック等の基材上の粗い層を測定します。TSシリーズの薄膜リフレクトメトリーシステムを使用すると、1nmから250μmまでの光学層の厚さを分析できます。単一の厚さは、0.1 nmまでの分解能を観察でき、単層又は複数の層フィルムは1秒以内で分析できます。

特徴

• 信頼性-0.1nmの解像度。
• パワフルなな単層・多層フィルム分析機能。
• ポータブル・現場測定。オンラインの厚さ測定に最適。
• 欠陥と粗さの許容誤差を測定する為の高度なアルゴリズム。