Hệ thống Đo lường Giám sát Plasma - Dòng PM

Dòng sản phẩm PM là một hệ thống rất hữu ích để đo plasma với độ nhạy cao và đầu dò được làm mát. Dòng PM có thể phát hiện phát xạ plasma có quang phổ rộng và ánh sáng lạc ít, bao gồm theo dõi plasma, khắc và phát hiện điểm cuối. Ngoài ra, bằng cách theo dõi phổ phát xạ của plasma mẫu, người dùng có thể xác định các thông số plasma quan trọng cần thiết để kiểm soát các quy trình dựa trên plasma.

• Đo ánh sáng phát ra từ plasma: đo thời gian thực bên ngoài hoặc bên trong buồng
• Tạo tín hiệu có thể điều khiển khí được đưa vào buồng plasma: Ngăn ngừa ô nhiễm thông qua giám sát và cảm ứng

​

Đặc trưng

• Độ nhạy cao, Dải động lớn, Đầu dò làm mát được làm mỏng phía sau, Ánh sáng lạc thấp
• Đo thời gian thực: Phát hiện ban đầu bằng phép đo thời gian thực
• Được sử dụng để phát hiện điểm cuối, phát hiện lỗi, chẩn đoán quy trình plasma, v.v.
• Vận hành dễ dàng: Được trang bị hệ thống quang học tùy chỉnh và đầu quang học có thể kết hợp thuận tiện với buồng plasma
• Phương pháp đo phát xạ plasma mạnh mẽ: Có thể phân tích nguyên tố và kiểm soát chính xác các quy trình dựa trên plasma và không ảnh hưởng đến quy trình bằng cách đo trong khung nhìn bên ngoài buồng
• Độ phân giải tùy chọn: Độ phân giải khác nhau tùy thuộc vào cấu hình hệ thống

​

Ứng dụng

• Bán dẫn, LCD/OLED
• Kiểm soát trạng thái buồng plasma
• Phát hiện lỗi / Kiểm soát điểm cuối
• Các quy trình khác sử dụng Plasma
• Khắc plasma / Tro hóa plasma