Chất bán dẫn

Đối với những vấn đề liên quan đến xử lý chất bán dẫn, chúng tôi cung cấp các giải pháp đo lường quang học thời gian thực cho các công ty tích hợp cung cấp thiết bị, dịch vụ cho các nhà sản xuất chip và thiết bị điện tử để phát hiện điểm cuối, quang khắc và làm sạch bằng plasma.

Giải pháp
Chúng tôi cung cấp máy đo phổ phát xạ quang học để theo dõi và kiểm soát thời gian thực các quá trình bán dẫn:

Khử trùng buồng plasma
Quang khắc
Lắng đọng
Phát hiện điểm cuối quang học
Làm sạch/đốt bằng plasma

Ưu điểm của đo lường quang học để giám sát quá trình bán dẫn

Đo thời gian thực
Thiết lập linh hoạt để phát hiện điểm cuối, v.v…
Độ ổn định cao cho hiệu suất đáng tin cậy trong quy trình