플라즈마 모니터링 측정 시스템 - PM Series

PM Series는 High sensitivity와 Cooled detector를 가져 플라즈마 측정 시 매우 유용한 시스템입니다. PM 시리즈는 플라즈마 모니터링, Etching, Endpoint 감지 등 넓은 스펙트럼과 낮은 stray light의 플라즈마 방출을 감지할 수 있습니다. 또한 샘플 플라즈마의 방출 스펙트럼을 모니터링함으로써 사용자는 플라즈마 기반 공정을 제어하는 데 필요한 중요한 플라즈마 parameter를 결정할 수 있습니다.

플라즈마에서 나오는 광 측정 : 챔버 외부나 내부에서 실시간으로 측정
플라즈마 챔버 안에 넣어질 Gas를 조절 할 수 있는 Signal을 생성 : 모니터링을 통해 오염을 방지하고, 물질의 코팅 속도 증가 유도

Features

High Sensitivity, Large Dynamic Range, Back-thinned Cooled Detector, Low Stray Light
Real Time 측정 : 실시간 측정에 의한 초기 검출
Endpoint 감지, Fault 감지, Plasma process 진단 등에 사용
조작 용이 : 플라즈마 챔버와 편리하게 결합할 수 있는 맞춤형 광학 제품과 Optical Head 탑재
강력한 플라즈마 방출 측정 방법 : 플라즈마 기반 공정의 원소 분석 및 정밀 제어가 가능하며, Chamber 외부의 Viewport 에서 측정하 여Process에 영향을 주지 않음
Optional Resolution : 시스템 구성에 따라 Resolution이 다름

Application

Semiconductor, LCD/OLED
Plasma Chamber State Control
Fault Detection / Endpoint Control
Other Processes using Plasma
Plasma Etching / Plasma Ashing

System Configuration

(a) 챔버 외부의 viewport를 통해 측정

(b) 진공 상태의 챔버 내에서 측정

PM Series(플라즈마 모니터링 시스템)를 사용하여 플라즈마 챔버에 서로 다른 가스가 유입되었을 때, 플라즈마 광 방출의 변화를 모니터링이 가능합니다.

측정은 밀폐된 반응실에서 수행되며, 분광기, Fiber Optics(+ 측정 시스템에 맞춘 Optics 제품 공급 및 제작 가능)에 결합되어 (a) 챔버 외부의 viewport 또는 (b) 진공 상태의 챔버 내에 Fiber Optics를 통해 측정하여 플라즈마에서 나오는 광 모니터링이 가능합니다. 챔버 외부에 Fiber Optics를 통해 측정하는 경우에는 Fiber Optics 앞에 Collimating Lens를 달아 챔버 안의 플라즈마에서 나오는 광을 집광할 수 있습니다. 챔버 내부에 Fiber Optics를 설치할 경우, 내부 Fiber Optics가 오염될 가능성이 높기에 이에 대한 해결책 또한 인틴스가 제공해드릴 수 있습니다.

[출처] 플라즈마 모니터링 측정 시스템 - PM Series|작성자 인틴스