반도체

반도체 처리와 관련된 문제를 해결하기 위해 엔드포인트 감지, 플라즈마 에칭 및 스트리핑/세척을 위해 칩 및 전자 장치 제조업체에 장비 및 서비스를 공급하는 통합업체에 실시간 광학 감지 솔루션을 제공합니다.

솔루션

당사는 반도체 프로세스의 실시간 모니터링 및 제어를 위한 광학 방출 분광계를 공급합니다.

• 챔버 살균
• 에칭
• 침적
• 광학 종단점 감지
• 플라즈마 애싱/클리닝

• 실시간 측정
• 엔드포인트 감지 등을 위한 유연한 설정
• 프로세스 환경에서 신뢰할 수 있는 성능을 위한 높은 안정성