ﾌﾟﾗｽﾞﾏﾓﾆﾀﾘﾝｸﾞ･測定ｼｽﾃﾑPMｼﾘｰｽﾞ/ PM Series

PMｼﾘｰｽﾞは､冷却されたﾌﾟﾛｰﾌﾞを使って高感度でﾌﾟﾗｽﾞﾏを測定をする非常に便利なｼｽﾃﾑです｡PMｼﾘｰｽﾞは､ﾌﾟﾗｽﾞﾏ追跡､ｴｯﾁﾝｸﾞ､ｴﾝﾄﾞﾎﾟｲﾝﾄ検出等､小さな迷光の少ない広域ｽﾍﾟｸﾄﾙのﾌﾟﾗｽﾞﾏを検出することができます｡それに､ﾌﾟﾗｽﾞﾏｻﾝﾌﾟﾙの発光ｽﾍﾟｸﾄﾙをﾓﾆﾀｰﾘﾝｸﾞすることにより､ﾕｰｻﾞｰはﾌﾟﾗｽﾞﾏをﾍﾞｰｽとしたﾌﾟﾛｾｽを制御するために必要かつ重要なﾌﾟﾗｽﾞﾏのﾊﾟﾗﾒｰﾀを特定することができます｡

• ﾌﾟﾗｽﾞﾏから発生された光の測定:ﾁｬﾝﾊﾞｰの外またはﾁｬﾝﾊﾞｰの中でﾘｱﾙﾀｲﾑ測定をします
• ﾌﾟﾗｽﾞﾏﾁｬﾝﾊﾞｰに導入されるｶﾞｽを制御するための信号を生成すえう:ﾓﾆﾀｰﾘﾝｸﾞと検出による汚染を防止します

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特性

• 高感度､広い範囲､後部が薄くされた冷却ﾌﾟﾛｰﾌﾞ､迷光が少ない
• ﾘｱﾙﾀｲﾑ測定:ﾘｱﾙﾀｲﾑ測定による初期検出｡
• ｴﾝﾄﾞﾎﾟｲﾝﾄ検出､不良検出､ﾌﾟﾗｽﾞﾏﾌﾟﾛｾｽ診断等に使用されます｡
• 簡単操作:ﾌﾟﾗｽﾞﾏﾁｬﾝﾊﾞｰと簡単に接続できるｶｽﾀﾏｲｽﾞされた光学系と光学ﾍｯﾄﾞが整備されます｡
• 強力なﾌﾟﾗｽﾞﾏ放出測定方法:元素を分析し､ﾁｬﾝﾊﾞｰの外から測定するため､ﾌﾟﾛｾｽに影響せずにﾌﾟﾗｽﾞﾏをﾍﾞｰｽとしたﾌﾟﾛｾｽを正確に制御できます｡
• 選択可能な解像度:解像度はｼｽﾃﾑ構成によって異なります

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用途

• 半導体､LCD･OLED
• ﾌﾟﾗｽﾞﾏﾁｬﾝﾊﾞｰの状態制御
• 不良検出･ｴﾝﾄﾞﾎﾟｲﾝﾄ制御
• ﾌﾟﾗｽﾞﾏを使用したその他のﾌﾟﾛｾｽ
• ﾌﾟﾗｽﾞﾏｴｯﾁﾝｸﾞ･ﾌﾟﾗｽﾞﾏ炭化

ｼｽﾃﾑ構成

(a)ﾁｬﾝﾊﾞｰの外からの測定

(b)真空ﾁｬﾝﾊﾞｰの中での測定

PMｼﾘｰｽﾞ(ﾌﾟﾗｽﾞﾏﾓﾆﾀﾘﾝｸﾞｼｽﾃﾑ)を使用して､ﾌﾟﾗｽﾞﾏﾁｬﾝﾊﾞｰに異なったｶﾞｽを導入する際のﾌﾟﾗｽﾞﾏ発光の変化をﾓﾆﾀﾘﾝｸﾞすることができます｡

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測定は､(a)ﾁｬﾝﾊﾞｰの外の点検口または(b)真空状態であるﾁｬﾝﾊﾞｰの中の点検口に接続された分光光度計と光ﾌｧｲﾊﾞｰ(+供給･製造可能な測定ｼｽﾃﾑに適した光学製品)と組み合わせ､閉鎖された反応ﾁｬﾝﾊﾞｰの中で行われます｡ﾌﾟﾗｽﾞﾏが放射する光は､ﾁｬﾝﾊﾞｰの外から光ﾌｧｲﾊﾞを通して測定､ﾁｬﾝﾊﾞｰ中のﾌﾟﾗｽﾞﾏを取り込むために光ﾌｧｲﾊﾞの先端にｺﾘﾒｰﾄﾚﾝｽﾞを取り付けることができます｡ﾁｬﾝﾊﾞｰの中に光ﾌｧｲﾊﾞｰを設置すると､中の光ﾌｧｲﾊﾞｰが汚染される可能性が高いため､Intenseはこの問題についてもｿﾘｭｰｼｮﾝを提供できます｡